靜電吸盤 E-Chuck

提供半導體8”與12”Etch、PVD、CVD等設備之E-Chuck維修服務，涵蓋專業翻修、改造服務及新品製造，主打在地化生產、快速檢修出貨。

可依據客戶CIP需求進行特定製程客製化翻修，E-Chuck冷卻系統、氦氣路徑及表面材質進行結構優化改良，提升產線製程中的溫控效能與耐用度。

四大核心檢修等級 (Levels of Service)：

L1：Surface Treatment：表面清潔、拋光處理與精細紋路重建。
L2：Used Plate Re-Bonding：表面重新黏合、補膠與結構強化。
L3：Plate Replacement：專業拆解與結合技術，精準更換為全新陶瓷板。
L4：Plate And Heater Replacement：進行全面性重組，同步更換全新陶瓷板與內嵌加熱器。