Dry Pump排氣減壓模組熱套件_ERM-PHK
安裝於半導體蝕刻、薄膜製程之附屬設備Dry pump的排氣管路，有效改善Dry pump 到Local Scrubber管道間粉塵堆積阻塞的問題，提供抑制粉塵生成之最佳解決方案。
產品說明
產品特點
- 注入具方向性氣流與稀釋製程廢氣功能，可有效減少粉塵堆積附著， 延長設備保養週期。
- 可取代Heater Jacket減少耗電。
- 可取代Hot N2，僅需50% N₂氣體用量，並搭載偵測Sensor自動調節N₂使用量，達到節氣效果。
- Dry pump節電率20%~30%。
- 減少人力保養作業頻率，降低維運成本
產品規格
噴頭 ( Flange NW40 ， L:140mm)
Controller ( 300mm *200mm *160mm )
產品聯絡人
陳敬元
- 崇越科技股份有限公司
- 專案經理
- 設備營一部
744094 台南市新市區台南科學園區創業路8號 1樓
TEL: TEL:(06)505-8940 ext.6182