Dry Pump節能器_ERM-L
(Exhaust pressure Reduction Module Load lock)
安裝於各大品牌Dry Pump之排氣管路,獲得節能減碳之效益
產品說明
產品特點
透過排氣負壓輔助抽氣效果,增加抽氣效率與降低Pump負載 ,達到節電效益。
以CDA 取代N₂ 氣體,有效降低氣體使用成本,減少N₂製造碳排當量。
一般規格 Pump 平均節電率40~50%,Green Pump 平均節電率20~30%
產品規格
NW25 ( 84 * 70 * 70 mm )
NW40 ( 120 * 80 * 80 mm )
NW50 ( 120 * 80 * 80 mm )
產品聯絡人
陳敬元
- 崇越科技股份有限公司
- 專案經理
- 設備營一部
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